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貼片機(jī)的分辨率通常是指貼片機(jī)定位系統(tǒng)的分辨率,具體指機(jī)械位移的極限,它包括X-Y移動的距離和Z軸旋轉(zhuǎn)角度,其數(shù)值取決于伺服機(jī)構(gòu)和軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)及其測量和控制系統(tǒng)的分辨率。實(shí)際上,貼片機(jī)各系統(tǒng),例如,光學(xué)系統(tǒng)、各種控制和測量傳感器均有自己的分辨率。
貼片機(jī)的高分辨率是保證貼片機(jī)的基礎(chǔ),如同一臺分辨率高的儀器是保證測量的基礎(chǔ)一樣。但是分辨率不與直接關(guān)聯(lián),貼片機(jī)一部分機(jī)構(gòu)分辨率高或者所有機(jī)構(gòu)分辨率都高,并不能保證貼片機(jī)高;高分辨率只是高的必要條件,而不是充分條件,更不是必要充分條件,一般在貼片機(jī)指標(biāo)中不出現(xiàn)分辨率,只有在深入比較貼片機(jī)全面性能時才用到分辨率指標(biāo)。
目前高貼片機(jī)的Z軸移動和轉(zhuǎn)動已分別達(dá)到0.00 mm和0.0024度的分辨率,視覺系統(tǒng)的照相機(jī)分辨率每個像素達(dá)到0.038 mm。隨著精密制造技術(shù)的發(fā)展,這些指標(biāo)還會進(jìn)一步提高,從而保證貼片機(jī)向更高的發(fā)展。
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